Elektronik sektöründe kullanılan kimyasalların kullanım alanı olarak yarı iletkenler ve basılı devre kartları kategorilerine ayırabiliriz. Bunun yanında elektronik sektöründeki kimyasallar olarak hibrid devre ve diğerleri olarak da detaylandırabiliriz.
Yarı iletken kimyasalları, yarı iletken işlem substratlar, yarı iletken işleme kimyasalları ve yarı iletken ambalajlama maddeleri olarak ayırabiliriz.
Yarı iletken işleme kimyasalları bir kaç gruba ayrılır. Dökme ve özel gazlar, ıslak kimyasallar, fotoresistler ve incd film metalleri olarak değerlendirilir.
Elektronik sektörünün bu kategorisinde kullanılan kimyasallar yüksek saflık değerlerine sahip olması gerekmektedir. Ve bunların ortak özelliğidir. Çünkü, buradan elde edilen ürünler çok hassas materyallerdir. Ve hayatımızda, zaman ilerledikçe elektronik sektörü ve elektronik materyaller daha da önem arz etmektedir. Bununla birlikte burada kullanılan elektronik kimyasalları da bir o kadar önem kazanmıştır.
Elektronik Sektöründe Kullanılan Kimyasallar Nelerdir?
Elektronik sektöründe, yarı iletken imalatında kullanılan elektronik kimyasallar, silikon levhalar, atmosferik ve özel gazlar, fotorezistler, yardımcı kimyasallar, ıslak işleme kimyasalları, CMP bulamaçları, ince film metalleri ve materyalleri içeren entegre devrelerin veya silikon çiplerin üretiminde kullanılan belli başlı kimyasal maddeleri kapsar.
Bu kimyasallar genel olarak aşağıdaki kimyasallardan oluşmaktadır.
- Azot , Oksijen, Argon, Helyum ve Hidrojenin de yer aldığı toplu gazlar.
- Arsin, fosfin, Bor Triklorür, Bor Triflorür, Di-Boran gibi takviyeli gazlardır.
- Bor Triklorür, Klor Triflorür, Hidrojen Klorür, Hidrojen Florür, Azot Triflorür, Silikon Tetraflorür, Kükürt Hegzaflorür, Tetrafloro Metan, Difloro metan, florometan, hegzafloroetan, pentafloro etan, otofloropropan, oktoflorosiklobutan da olmak üzere elektronik sektöründe yarı iletkenlerin imalatında bu kimyasallar kullanılmaktadır.
- Silan, diklorosilan, triklorosil-şerit, silikon tetraklorür, disilan, tetraetilortosilikat, silikontetraflorür, metil-silan, seçici, amonyak ve Azotoksit gibi buhar çöktürme kimyasalları kullanılır.
- Asetik Asit, Aseton, Amonyum florür, Amonyum Hidroksit, Hidroklorik Asit, Hidroflorik Asit, Hidrojen Peroksit, izopropil alkol, nitrik asit, fosforik asit ve sülfürik asit de dahil olmak üzere sıvı kimyasallar kullanılır.
Elektronik Sektöründe Kullanılan Kimyasalların Amacı Nedir?
Bir malzeme oluşturulduktan sonra telleri ve kontak delikleri gibi desenleri oluşturmak amacıyla ıslak aşındırma yöntemi kullanılır. Islak aşındırma asidik veya bazik çözeltileri kullanır.
Örneğin Amonyum Florid ile tamponlanmış hidroflorik asit çözeltisi genellikle SiO2 ti etejlemek için kullanılır.
Yarı iletken yüzey üzerinde, güvenilir bir şekilde malzeme katmanları depolayabilmek için, bu yüzeyin düz olması gerekmektedir. Burada yüzeyin düz olması çok önemlidir.
Bu nedenle bir Kimyasal-Mekanik düzlemselleştirme (CMP) adımı yalıtıcı SiO2 tabakasının üstüne ekstra bir metal tabakanın çökeltilmesinden önce dahil edilmiştir.
Bu işlem, bir cihaz tabakasını mikroskopik olarak düzlemlemek ve basamak yüksekliklerini düşürmek için bir bulamaç bileşimi içerir.